DC Magnetron Sputtering Coater with Rotary Stage and Water Chiller

• Type: Coating Spray Gun
• Coating: Vacuum Coating
• Substrate: Copper
• Certification: CE, TUV
• Condition: New
• Specimen Chamber: Quartz Glass Tube
• Model NO.: VTC-16-SM
• Distance: Adjustable
• Control Panel: Touch Screen
• Gas: Needle Valve
• Name: DC Magnetron Sputtering Coater
• Transport Package: Wooden Box
• Specification: dia. 50mm
• Trademark: CY
• Origin: Zhengzhou, China
• HS Code: 8543709990
• Production Capacity: 210 Sets Per Month

Product Description

DC Magnetron Sputtering Coater machine w Rotary Stage & Water Chiller - VTC-16-SM
Introduction
VTC-16-SM is a High Power Desktop Magnetron Plasma Sputtering Coater with a water cold  2"  target head , water chiller and rotatable sample holder, which is designed for coating all metallic films, including Zn, Al, Ti light metallic film  at affordable cost. One Aluminium  target  is included 
for immediate use.  

Technical parameters
 

Input Voltage	110/220VAC switchable
Output Power	1600VDC  250W   150mA max. Built-in over current (>150mA) protection
Specimen chamber	Quartz glass tube, 167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height
Sputtering Head  & Specimen stage	2" magnetron sputtering head with water cooling jacket  is included One 50 mm Dia  stainless steel .sample stage is built in, which is  rotatable from 0 - 5 RPM  One manually operated shutter is build in to achieve better coating Built in a fixture to place sputtering head when open chamber Distance between sputtering head and sample stage is adjustable  from 60 - 100 mm. One Air Cold Recirculating Water Chiller  10L / min Flow is included for  cooling sputtering head.
Control Panel	6" color  touch-screen control panel for easy operation One panel controls all parameters, including vacuum, current, target  position and substrate heating temperature
Ultimate Vacuum  Pressure	Built in KF25 vacuum port The system requires a Ar gas tank with pressure regulator, which is  not included <10E-2 mbar by vane vacuum pump (not included) 7.5E-5 mbar by Turbo molecular pump (not included)
Gas Atmosphere	One needle valve installed to allow Ar gas inlet to achieve better  plasma coating
Target	Target size: 50 mm dia. x (0.1 - 3) mm,thickness