• DC/RF Dual-Head High Vacuum 2" Magnetron Plasma Sputtering Coater - Cy-600-2HD
  • DC/RF Dual-Head High Vacuum 2" Magnetron Plasma Sputtering Coater - Cy-600-2HD

DC/RF Dual-Head High Vacuum 2" Magnetron Plasma Sputtering Coater - Cy-600-2HD

Customized: Customized
Structure: Desktop
Material: Steel
Certification: CE, TUV
Application: School, Lab
Type: Plasma
Customization:

Contact Supplier

Diamond Member Since 2016

Suppliers with verified business licenses

Manufacturer/Factory & Trading Company

Basic Info.

Model NO.
CY-600-2HD
Transport Package
Ply Wooden Carton
Trademark
CYKY
Origin
Zhengzhou, China
HS Code
8486109000
Production Capacity
20 Sets/Month

Product Description

CY-600-2HD DC/RF Dual-Head High Vacuum 2" Magnetron Plasma Sputtering Coater

Introduction of magnetron plasma sputtering coater

CY-600-2HD is a magnetron sputtering system featuring dual target sources: 1) DC source for coating metallic material on 

one head and 2) RF source for coating non-metallic material on the other head. It is equipped with a film thickness tracker to enable the user to easily monitor the coating progress and also record the data. 
 This model is sophsticatedly designed for coating single or multiple film layers of a wide range of substrate materials (ferroelectric, condutive, alloy, semiconductor, ceramic, dielectric, optical, oxide, hard, PTFE and etc).
 Its compactness and ease of operation make it an ideal coating system for use in R&D labs. 

Technical parameters of Magnetron Plasma Sputtering Coater

 Technical parameters of magnetron plasma sputtering coater

Compact Structure

DC/RF Dual-Head High Vacuum 2" Magnetron Plasma Sputtering Coater - Cy-600-2HD
 

Input Power

220VAC 50/60Hz, single phase

2000W  (including pump)

Source Power

Two sputtering power sources are integrated into one control box 

DC source: 500W for coating metallic materials ( below left)

RF source: 600W with automatching for coating non-metallic materials ( Center)

Compact 300 RF source is available at extra cost ( Below right)

Magnetron Sputtering  Head

Two 2" Magnetron Sputtering  Heads with water cooling jackets are included

1)One is connected to RF power supply for no-conductive materials

2)Another is connected to DC sputtering power source for coating metallic materials

Target size requirement: 2" diameter

1)1/16" max. thickness for metallic targets

2)1/4" max. thickness for no-conductive targets

3)One stainless steel and one Al2O3 ceramic targets are included for demo testing

Head Water Cooling: 10ml/min water flow required, and one 16ml/min digitally
controlled recirculating water 

chiller is included for cooling both magnetron sputtering heads

Vacuum Chamber

Vacuum Chamber: 300 mm Dia x 300 mm height, made of stainless steel

Observation Window:  100 mm diameter

Hinged type cover on top with air spring sport makes target exchange easy

Sample Holder

Sample holder size: 140mm dia. for. 4" wafer max

Sample holder rotation speed is adjustable: 1 - 20 rpm for uniform coating

The holder temperature is adjustable from RT to 500°C Max with accuracy +/- 1.0 °C

Gas Flow Control

 

 

Two precision digital MFC (mass flow controller) are installed to allow 
two types of gases to be filled in

Flow rate:  200 ml/min max.

Flow rate is adjustable on the 6" touch screen control panel

Vacuum Pump Station

High speed turbo vacuum pump system (made in Germany) is directly
 installed on the vacuum chamber for max. vacuum level

Heavy duty dual stage mechanical pump is connected to turbo pump 
for faster pump speed Mobile pump station is included and 
the compact sputtering coater can be put on top of station Max. vacuum level: 10^-6 torr with chamber baking

Thickness Monitor

One Precision quartz thickness sensor is built into the chamber
 to monitor coating thickness with accuracy 0.10 Å  

LED Display Unit outside chamber can:

1)Input material to be coated according to data base included

2)Display total thickness coated and coating speed

5 pcs quartz sensors (consumable) are included 

Water cooling is required

Overall Dimensions

L1300mm× W660mm× H1200mm

Company Information

Zhengzhou CY Scientific Instrument Co.,Ltd locate in hi-tech zone, Zhengzhou city.It is a high-tech companies that engaged in the research and development, design, manufacturing and sales of equipment used in scientific researches.Mainly focus on Our main products include:microwave sintering furnace, dental porcelain furnace, tube furnace,muffle furnace,,zirconia sintering furnace,Phosphor powder sintering furnace,crystal sintering furnace, battery material sintering furnace, CVD system, relative accessories and etc. determined to do advanced materials preparation equipment manufacturers and suppliers of leader.

 We sincerely welcome you come to visit us. Your comments and suggestions will be great honor for us. 

 

FAQ

1. Are you a manufacturer or trade company ?

Yes,you can assured that we are a producer with full experience doing business 

in domestic and oversea.

2. We are not professional for operation and installation of your machine?

While it is not a stumbling block,our machine is easy to operate,no need to professional 

training,and the instruction manual and vedio sent to you are enough.What's more,we 

have professional engineers and they can solve all questions.

3. How about packaging ?.......if machine damaged,what should I do ?

Usually machine is packed with wooden case and standard export carton,plywood 

carton or as your requirement.Damage haven't happened before,if happen,we will

 arrange replacement.

4. We haven't do business before,how can I trust your company and machine ?

We have been GOLD supplier for three years with no complaints on Alibaba.and our 

machine have exported to Eath Asia,South Asia,the middle East Asia,Africa etc. areas 

and have a good feedback.

Our Factory
DC/RF Dual-Head High Vacuum 2" Magnetron Plasma Sputtering Coater - Cy-600-2HD
DC/RF Dual-Head High Vacuum 2" Magnetron Plasma Sputtering Coater - Cy-600-2HD

 

Send your message to this supplier

*From:
*To:
avatar Mr. Wang
*Message:

Enter between 20 to 4,000 characters.

This is not what you are looking for? Post a Sourcing Request Now